技术方案是：一种对陶瓷膜孔径进行连续精密调节的方法，其具体步骤如下：a将德阳陶瓷分离膜置于原子层沉积仪器反应腔中，抽真空并加热反应室温度到250～450°C，使样品在设定温度下保持5～30m1n，反应腔内的气压为0.01～1Otorr；b首先关闭出气阀，脉冲金属源前驱体，时间为0.01～ls，接着保持一段时间0～60s；然后打开出气阀，脉冲清扫气，清扫3～15s；再关闭出气阀，脉冲氧化前驱体0.01～...

陶瓷过滤器除尘实验装置，包括给料机，螺旋给料机，堵塞器，粒度测量仪，流量计，滤罐，空压机，储气罐，冷干机，上位机，其中，空压机与储气罐相连，储气罐与冷干机相连，冷干机与球阀组的一端相连，球阀组的另一端